Z razvojem kitajske industrije polprevodnikov je razvoj ključnih komponent za procesno opremo postal kritična omejitev za razvoj opreme. Ko bo poziv k lokalizaciji domače polprevodniške tehnologije vse močnejši, bo premaganih vedno več tehnologij ozkih grl v industriji polprevodnikov. Na podlagi dolgoletnih izkušenj v polprevodniški industriji je naše podjetje razvilo visokohitrostni servo motor z votlo-gredjo-za adsorpcijo rezin v opremi za nanašanje polprevodnikov, razvijanje in čiščenje. Ta motor se ponaša z velikimi pospeški, širokim razponom hitrosti in visoko odzivnostjo ter so ga stranke v industriji zelo pohvalile.
Uporaba servo motorja z-votlo gredjo:
Oprema za osvetljevanje in razvijanje (prevleka, razvijanje): Glavna oprema za fotolitografske postopke, nadzor nanosa, osvetlitve in razvijanja.
Oprema za čiščenje, premazovanje, razvijanje in odstranjevanje filma.
Primerno za fizično čiščenje s spiranjem, čiščenje delcev in postopke pršenja.
Specifikacije izdelka in področja uporabe servo motorja z votlo gredjo:
750W/1000W – 5000, 6000 vrt./min
Področja uporabe (-modeli visokega razreda):
8-palčna in 12-palčna polprevodniška oprema.
Postopki, kot so premazovanje, razvijanje, čiščenje in jedkanje.
Največji pospešek lahko doseže 50000 R/S² trenutni pospešek.
Posebna zasnova konca gredi zagotavlja najnižji koeficient odtekanja obremenitve konca gredi.
